株式會社村田制作所（以下簡稱“村田”）宣布，成功開發出面向工業設備的數字三軸 MEMS （1）加速度傳感器“SCA3400系列”。該系列產品在長期使用過程中的偏移壽命漂移（2）值控制在 0.5mg（毫伽）以下，在業內處于居先水平（3），具備優異的耐久性和長期穩定性，適用于橋梁、建筑等結構物的劣化監測系統，預計將于2025年10月開始量產。

注釋

1. MEMS（微機電系統）：一種通過對硅片等材料進行精密加工，集成傳感器結構與電子電路的微型化制造技術。

2. 偏移壽命漂移：指傳感器在長期使用過程中，其輸出值隨時間發生偏移的現象。該數值越高，代表漂移程度越大。

3. 數據來源：截至2025年6月23日，由村田提供。

隨著工業設備數字化進程加速，對結構物和機械設備異常或損傷的自動檢測需求日益增長，預測性維護的重要性也顯著提升。在此背景下，利用傳感器監測狀態變化，已成為實現自動化運維的重要手段之一。尤其在橋梁、建筑等結構健康監測領域，監測通常需要長期持續進行，因此，加速度傳感器是否能夠準確捕捉結構物的微小形變或位移變化，將直接影響整個監測系統的可靠性。然而，傳統高精度加速度傳感器雖能檢測細微傾斜，但其偏移壽命漂移值較高，隨著使用時間的延長，輸出基準易發生偏移，進而難以準確判斷結構物的劣化情況。

為應對上述挑戰，村田結合自有 MEMS 制造工藝與先進電路設計，開發出“SCA3400系列”產品，實現了在檢測微小傾斜角度的同時，將偏移壽命漂移控制至 0.5mg 以下。該產品還具備出色的抗振動性能和溫度穩定性，在惡劣工業環境中亦可實現長期穩定運行。

未來，村田將持續推動高精度 MEMS 加速度傳感器技術的發展，滿足市場的多樣化需求。

主要特點

1. 偏移壽命漂移值控制在 0.5mg 以下，適合長期穩定輸出需求。

2. 低噪聲特性，可支持捕捉微小的動態變化。

3. 具備良好的抗振動和抗溫度變化能力，適用于嚴苛工作環境。

4. 內置自診斷功能，可實時監控傳感器運行狀態，提升系統安全性。

5. 外形尺寸與接口方式延續以往產品設計，便于客戶減少額外設計工時。

主要規格

產品網站
有關 MEMS 加速度傳感器“SCA3400系列”的詳細信息，請訪問村田官網產品頁面。

關于村田制作所
村田制作所是一家全球性的綜合電子元器件制造商，主要從事以陶瓷為基礎的電子元器件的開發、生產和銷售業務。致力于通過自身開發積累的材料開發、工藝開發、商品設計、生產技術以及對它們提供支持的軟件和分析評估等技術基礎，創造獨特產品，為電子社會的發展做出貢獻。